摘要: 束源快门在分子束外延技术中占有重要地位,是分子束外延设备上的关键部件之一。针对国产MBE—Ⅰ、Ⅱ型手动快门的种种不足,设计了一种新型的磁力偶合电脉冲驱动快门。其结构简单、小巧、紧凑,运转灵活、可靠。理论上开关时间为0.04秒。采用防污染措施。可有效地防止砷对快门的污染。新型快门的出现将有助于高质量分子束外延生长以及自动化生长过程的实现,并可应用于新一代分子束外延设备上。