真空技术在微电子学、生物学中的应用预测

真空技术在微电子学、生物学中的应用预测

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孙大明. 真空技术在微电子学、生物学中的应用预测[J]. 真空与低温, 1986, (3): 63-64.

引用本文:

孙大明. 真空技术在微电子学、生物学中的应用预测[J]. 真空与低温, 1986, (3): 63-64.

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