离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟

离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟

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李梦轲, 黄良甫, 罗崇泰, 等. 离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟[J]. 真空与低温, 1991, 10(3): 8-12.

引用本文:

李梦轲, 黄良甫, 罗崇泰, 等. 离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟[J]. 真空与低温, 1991, 10(3): 8-12.

摘要: 利用蒙特卡罗法.分析了薄膜柱状结构的成因。通过不同工况薄膜生长的计算机模拟,证明了阴影效应和沉积原子有限迁移是导致柱状结构的原因。采用离子束辅助沉积工艺,可使膜层聚集密度明显提高.柱状结构完全消失。
- 真空镀膜 ;
- 离子束 ;
- 计算机模拟 ;
- 薄膜

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