离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟

李梦轲, 黄良甫, 罗崇泰, 刘定权

李梦轲, 黄良甫, 罗崇泰, 等. 离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟[J]. 真空与低温, 1991, 10(3): 8-12.
引用本文: 李梦轲, 黄良甫, 罗崇泰, 等. 离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟[J]. 真空与低温, 1991, 10(3): 8-12.

离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟

  • 摘要: 利用蒙特卡罗法.分析了薄膜柱状结构的成因。通过不同工况薄膜生长的计算机模拟,证明了阴影效应和沉积原子有限迁移是导致柱状结构的原因。采用离子束辅助沉积工艺,可使膜层聚集密度明显提高.柱状结构完全消失。
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-03-03

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