日本真空技术的应用现况

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魏林. 日本真空技术的应用现况[J]. 真空与低温, 1993, 12(3): 162-165.

引用本文:

魏林. 日本真空技术的应用现况[J]. 真空与低温, 1993, 12(3): 162-165.

日本真空技术的应用现况

魏林

兰州物理研究所

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出版历程
- 收稿日期: 1993-05-31

摘要: 介绍了适用于超高真空和极高真空应用的出气速率近年来在日本的研究情况。同时介绍了日本昭和真空公司在真空镀膜方面的新应用。
- 超高真空 ;
- 极高真空 ;
- 真空出气速率 ;
- 真空镀膜

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