表面处理中的物理气相沉积法

袁恒祺 译

袁恒祺 译. 表面处理中的物理气相沉积法[J]. 真空与低温, 1983, (2): 57-61.
引用本文: 袁恒祺 译. 表面处理中的物理气相沉积法[J]. 真空与低温, 1983, (2): 57-61.

表面处理中的物理气相沉积法

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