摘要: 从电子激发解吸（ESD）离子引起的测量误差出发,考察了。Lafferty发明的热阴极磁控规和Benvenuti和Hauer改进的Helmer规的测量下限。在此基础上研制了一种新的热阴极全压规一离子谱规,它可以在低至10¹²pa的压力范围内完全避免ESD离子所引起的误差。其结构特点是:1.采用能使气相离子和ESD离子具有大的能量差的球形栅极离子源;2.采用具有高能量分辨率的180°半球形离子能量分析器,以提高离子聚焦能力并降低X射线下限;3.采用可降低热阴极出气量的在铝合金法兰内掩埋离子收集极的技术。在一台新的铝制XHV系统上,进行了以Mo和Pt作栅极的两种新规的性能研究,通过引入O₂进行实验证实了气相离子和ESD离子的有效分离。对Pt栅规,当压力低至10^-11pa时,可完全消除ESD离子误差。新规的测量下限和灵敏度分别为:Mo栅规:Px<2×10^-12Pa,S=4.5×10^-4A/Pa;Pt栅规:Px<5.6×10^-12Pa,S=1.8×10^-4A/Pa。