摘要: 介绍了低真空大排气量真空设备的研制过程、主要装置的特征和工作原理。对各种调试方法进行了说明并给出了结果。这些结果数据直观、结论明确、实用。对设备研制过程中遇到的技术难点作了分析。它的经验将对今后类似工程有着宝贵的参考价值。