等离子体及其应用

  • 摘要: 由受控核聚变研究发展起来的等离子体科学技术,近年已迅速波及和应用到许多不同领域。核聚变能商品化之后,等离子体的应用还被考虑扩展到非电力生产新领域。与高温核聚变堆等离子体(数千万度~1亿度)相对,近年来开拓的以温度低于数万度的低温等离子体应用为主的低温等离子体技术,从应用于高真空获得开始,目前已发展到在当今尖端的半导体制造技术上的应用。从高温等离子体和低温等离子体的两个角度介绍和展望了等离子体及其应用技术的现状。

     

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