摘要: 介绍了一种新的超微型电离规的结构、特性和应用情况。这种规尺寸小,灵敏度高,并具有很宽的量程。适用于检测局部漏孔,也适用于10K的冷系统,在10^-3帕到10^-3帕范围内存在正比关系,所测数据偏离线性程度不大于±10％。