摘要: 分析了现已研制成功的各种电离规的测量精度和影响测量精度的因素。主要因素有X射线引起的光电流、电子诱导脱附产生的离子流、收于离子轰击使电胡表面电子产额发生变化以及几何形式的变化等。以新研制的冷阴极电离真空规为例,分析了提高真空测量精度的可能性。