介绍了研制的等离子体聚合装置,及用该装置聚合六甲基二硅氧烷制备的膜的部分结果。分析了膜的组份、结构,研究了膜的性能及可能的用途。结果表明:制备的膜具有优异的抗氧化性能,可用作一些材料的抗氧化保护膜。