双离子束溅射沉积二氧化硅薄膜

双离子束溅射沉积二氧化硅薄膜

摘要: 利用双离子束溅射沉积技术,在锗、硅、K9玻璃、不锈钢基底上沉积了二氧化硅薄膜。考察了不同束辐照条件下二氧化硅薄膜的电阻率、折的率、红外吸收谱和显微组织结构。

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