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激光干涉U形压力计
吕时良
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这是在意大利所进行的一项预研性工作。利用了激光和超声波干涉技术,研究了影响微气体压力测量精度的各种因素。介绍了油介质U形压力计主体系统的结构和测试方法、测液面光学干涉系统的设计、干涉条纹的自动测试、U形计对电容薄膜规的校准以及改进U形压力计的方法。结果表明:用U形压力计校准满量程为133Pa的电容薄膜规是完全可能的。在现有系统上校准的最佳区问为10
-1
~10
-3
Pa。这里所介绍的U形压力计还只是样机。欲要作为实用的基础真空标准还有待继续完善。
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