全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会

全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会

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张景钦. 全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会[J]. 真空与低温, 1988, (2): 61-65.

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张景钦. 全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会[J]. 真空与低温, 1988, (2): 61-65.

全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会

张景钦

兰州物理研究所

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出版历程
- 收稿日期: 1988-01-03

摘要: 着重介绍“全无油超高真空超纯表面制备和分析设备”、“分子束外延设备”“空间材料二次电子发射测试设备”的设计和调试过程中的一些体会.其中包括全无油超高真空机组的设计和方案比较;整机的结构布局形式;真空机组的布局以及主、辅泵的匹配.较为重点的叙述了升华泵的设计.这几种全无油超高真空设备的极限压力范围为4×10^-8—6×10^-8帕;真空机组的极限压力为2×10^-8—3×10^-8帕.
- 超高真空 ;
- 真空系统 ;
- 设计 ;
- 性能分析

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