LSA—1型电弧离子镀膜机结构研制

  • 摘要: 简述了电弧离子镀的进展及其特点;介绍了它的工作原理,着重论述了电弧离子镀膜机的基本结构及作用和真空泵的选择,最后指出了它的应用前景。

     

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